我们德国与美国有自己的公司,一直和德国Heidenhain厂家保持良好的合作关系
适用于高真空和超高真空技术
我们的标准编码器适用于低或中等真空。用于高真空或超高真空应用的编码器需要满足特殊要求。使用的设计和材料必须特别适合它。有关更多信息,请参阅技术信息文档“真空技术的线性编码器”。
以下暴露式直线光栅尺特别适用于高真空和超高真空环境。
•高真空:LIP 481 V和LIF 481 V.
•高真空:LIC 4113 V和LIC 4193 V.
•超高真空:LIP 481 U
LIP / LIF系列应用于高真空和超高真空技术
| 典型 | 基线错误 | 基板和安装 | 插值错误 | 测量长度 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 准确度 等级 | 间隔 | ||||
| LIP 481V LIP 481U | ±0.5μm ±1μm | ≤±0.175μm/ 5 mm | Zerodur玻璃陶瓷或带固定夹的玻璃的比例尺 | ±7 nm | 70毫米到420毫米 |
| LIF 481V | ±3μm | ≤±0.225μm/ 5 mm | ±12nm | 70毫米到1020毫米 | |
| LIC 4113 V LIC 4193 V | ±1μm(仅用于Robax玻璃陶瓷),±3μm,±5μm | ≤±0.275μm/ 10 mm | METALLUR玻璃陶瓷或玻璃上的刻度光栅 | ±20nm | 240毫米到3040毫米 |
